XYZ AOI檢查階段及其原理
隨著積體電路板上元件數量的增加和單一元件變得更小, 對檢測速度和效率的需求不斷增長. 興趣區 (自動光學檢測) 使用光學成像系統進行自動檢測. 核心技術在於獲得準確,高質量的光學圖像並處理它們. 定制的AOI解決方案被廣泛應用, 不僅用於PCB面板檢查,而且在其他各種情況下, 例如半導體的檢查, 電池產品, 和電子元件.
XYZ AOI檢查階段的功能和優勢
1.XYZ堆疊結構: 採用空心杯直線馬達直接驅動控制, 消除齒槽效應並確保低速平穩運行 (最小速度波動).
2.高精度非接觸光量表: 提供出色的動態性能, 定位精度, 和重複性, 導致穩定的運動和一致的力分佈.
3.XY軸分層結構: 用大理石基礎建造高穩定性; Z軸具有直接驅動垂直升力結構,用於直接負載移動. 它包括無數的平衡缸,行程範圍為10mm.
技術參數
技術參數 | |||
軸向 | X軸 | Y軸 | Z軸 |
馬達型號 | BZDU-30B-3 | BZDU-30B-3(雙動子) | – |
持續推力 | 153 氮 | 153 氮 | 23 氮 |
峰值推力 | 884 氮 | 884 氮 | 170 氮 |
連續電流 | 2.54 武器 | 2.54 武器 | – |
峰值電流 | 8.84 武器 | 8.84 武器 | – |
有效行程 | 500 毫米 | 400 毫米 | 10 毫米 |
載入 | Z軸 +5.5 公斤 | z軸 +x軸 +5.5 公斤 | 5.5 公斤 |
最大速度 | 600 mm/s | 600 mm/s | 100 mm/s |
運行速度 | 200 mm/s | 100 mm/s | 100 mm/s |
垂直直率 | ±2微米 | ±2微米 | ±2微米 |
加速 | 0.6 克 | 0.6 克 | 0.3 克 |
重複精度 | ±1微米 | ±1微米 | ±1微米 |
定位精度 | ±2微米 | ±2微米 | ±2微米 |
水平直率 | ±2微米 | ±2微米 | ±2微米 |
瀝青 | ±5弧秒 | ±5弧秒 | – |
偏航 | ±5弧秒 | ±5弧秒 | – |
正交性 | ±5弧秒 | ||
z軸響應頻率 | 3@ 230nm@ 50Hz | ||
安裝方法 | 水平的 |
應用
這個高精度的三軸運動平台, 具有堆疊的三軸結構, 可以用於需要高準確性和效率的工業項目中, 例如激光處理, 光學製造, 和檢查.
產品特點:
1.三軸直接驅動結構設計: 確保精確的控制和移動.
2.Z軸直接驅動垂直升降機結構: 促進有效的垂直運動.
3.Z軸的內置氣動平衡配置: 支持最大負載 10 公斤.
4.XY軸高精度直線導軌: 提供出色的運動穩定性; Z軸具有反剖腹產的橫輥指南.
5.XY軸的花崗岩底座: 提供高穩定性和耐用性.
6.可自定義的選項: 配置, 旅行範圍, 負載能力, 並可客製化特殊結構以滿足客戶需求.