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XYZ AOI检查阶段及其原理
随着集成电路板上元件数量的增加和单个元件变得更小, 对检测速度和效率的需求不断增长. 兴趣区 (自动光学检测) 使用光学成像系统进行自动检测. 核心技术在于获取准确、高质量的光学图像并对其进行处理. 定制化AOI解决方案应用广泛, 不仅适用于PCB面板检测，还适用于其他各种场景, 例如半导体的检查, 电池产品, 和电子元件.
XYZ AOI 检查台的特点和优势
1.XYZ堆叠结构: 采用空心杯直线电机直接驱动控制, 消除齿槽效应并确保低速平稳运行 (最小速度波动).
2.高精度非接触式光栅尺: 提供卓越的动态性能, 定位精度, 和重复性, 产生稳定的运动和一致的力分布.
3.XY轴分层结构: 采用大理石底座打造，稳定性高; Z轴采用直接驱动垂直升降结构，用于直接负载移动. 它包括一个行程范围为 10mm 的内置平衡缸.
技术参数
| 技术参数 | |||
| 轴向 | X轴 | Y轴 | Z轴 |
| 电机型号 | BZDU-30B-3 | BZDU-30B-3（双动子） | – |
| 持续推力 | 153 氮 | 153 氮 | 23 氮 |
| 峰值推力 | 884 氮 | 884 氮 | 170 氮 |
| 连续电流 | 2.54 武器 | 2.54 武器 | – |
| 峰值电流 | 8.84 武器 | 8.84 武器 | – |
| 有效行程 | 500 毫米 | 400 毫米 | 10 毫米 |
| 加载 | Z轴 +5.5 公斤 | Z轴+X轴 +5.5 公斤 | 5.5 公斤 |
| 最大速度 | 600 毫米/秒 | 600 毫米/秒 | 100 毫米/秒 |
| 运行速度 | 200 毫米/秒 | 100 毫米/秒 | 100 毫米/秒 |
| 垂直直线度 | ±2微米 | ±2微米 | ±2微米 |
| 加速 | 0.6 克 | 0.6 克 | 0.3 克 |
| 重复精度 | ±1微米 | ±1微米 | ±1微米 |
| 定位精度 | ±2微米 | ±2微米 | ±2微米 |
| 水平直线度 | ±2微米 | ±2微米 | ±2微米 |
| 沥青 | ±5角秒 | ±5角秒 | – |
| 偏航 | ±5角秒 | ±5角秒 | – |
| 正交性 | ±5角秒 | ||
| Z轴响应频率 | 3a@230nm@50Hz | ||
| 安装方法 | 水平的 | ||
应用
这款高精度三轴运动平台, 具有堆叠式三轴结构, 可用于对精度和效率要求较高的工业项目, 例如激光加工, 光学制造, 和检查.
产品特点:
1.三轴直驱结构设计: 确保精确的控制和运动.
2.Z轴直驱垂直升降结构: 促进高效的垂直运动.
3.Z轴内置气动平衡配置: 支持最大负载 10 公斤.
4.XY轴高精度直线导轨: 提供出色的运动稳定性; Z 轴采用防蠕变交叉滚子导轨.
5.XY轴花岗岩底座: 提供高稳定性和耐用性.
6.可定制选项: 配置, 行程范围, 承载量, 并可定制特殊结构以满足客户需求.
