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XYZ AOI検査段階とその原理
集積回路基板上のコンポーネントの数が増加し、個々のコンポーネントが小型化するにつれて, 検出速度と効率に対する要求が高まる. あおい (自動光学検査) 自動検出には光学イメージング システムを使用します. コア技術は正確かつ高品質な光学画像の取得とその処理にあります. カスタマイズされた AOI ソリューションが広く適用されています, プリント基板のパネル検査だけでなく、さまざまなシーンでご利用いただけます, 半導体の検査など, バッテリー製品, および電子部品.
XYZ AOI検査ステージの特徴と利点
1.XYZ積層構造: コアレスリニアモーターダイレクトドライブ制御を採用, コギング効果を排除し、低速でのスムーズな動作を保証します。 (最小限の速度変動).
2.高精度非接触グレーティングスケール: 優れた動的パフォーマンスを提供します, 位置決め精度, と再現性, 安定した動作と一貫した力の分散を実現します。.
3.XY軸積層構造: 大理石ベースで高い安定性を実現; Z 軸は、負荷を直接移動するためのダイレクトドライブ垂直リフト構造を備えています。. 移動範囲10mmのバランスシリンダーを内蔵しています。.
技術的パラメータ
| 技術的パラメータ | |||
| 軸方向 | X軸 | Y軸 | Z軸 |
| モーター型式 | BZDU-30B-3 | BZDU-30B-3（ダブルムーバー） | – |
| 連続推力 | 153 N | 153 N | 23 N |
| ピーク推力 | 884 N | 884 N | 170 N |
| 連続電流 | 2.54 腕 | 2.54 腕 | – |
| ピーク電流 | 8.84 腕 | 8.84 腕 | – |
| 有効ストローク | 500 mm | 400 mm | 10 mm |
| 負荷 | Z軸 +5.5 kg | Z軸+X軸 +5.5 kg | 5.5 kg |
| 最高速度 | 600 mm/s | 600 mm/s | 100 mm/s |
| 動作速度 | 200 mm/s | 100 mm/s | 100 mm/s |
| 垂直真直度 | ±2μm | ±2μm | ±2μm |
| 加速度 | 0.6 g | 0.6 g | 0.3 g |
| 繰り返し精度 | ±1μm | ±1μm | ±1μm |
| 位置決め精度 | ±2μm | ±2μm | ±2μm |
| 水平真直度 | ±2μm | ±2μm | ±2μm |
| ピッチ | ±5 秒角 | ±5 秒角 | – |
| ヨー | ±5 秒角 | ±5 秒角 | – |
| 直交性 | ±5 秒角 | ||
| Z軸応答周波数 | 3a@230nm@50Hz | ||
| 設置方法 | 水平 | ||
応用
高精度3軸モーションプラットフォーム, 積層三軸構造を採用, 高い精度と効率を必要とする産業プロジェクトで使用可能, レーザー加工など, 光学製造, そして検査.
製品の特徴:
1.3軸ダイレクトドライブ構造設計: 正確な制御と動きを保証します.
2.Z軸ダイレクトドライブ垂直昇降構造: 効率的な垂直運動を促進します。.
3.Z軸用の内蔵空気圧バランス構成: の最大負荷をサポートします。 10 kg.
4.XY軸用高精度リニアガイド: 優れた動作安定性を実現; Z軸はクリープ防止クロスローラーガイドを備えています.
5.XY軸用御影石ベース: 高い安定性と耐久性を実現.
6.カスタマイズ可能なオプション: 構成, 移動範囲, 耐荷重, 顧客のニーズに合わせて特別な構造をカスタマイズすることができます.
