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氣浮平台及其原理
氣浮平台是以氣體為介質的懸吊系統, 利用氣流產生的升力來支撐和懸掛物體, 實現非接觸懸浮效果.
原理是將壓縮空氣或氮氣注入平面界面. 氣體的流動和氣泡的形成產生支撐懸浮物體的升力, 形成一層氣體懸浮液. 從而實現高精度加工, 光刻法, 和檢查, 除其他應用程式外.
氣浮平台的特色及優勢
1.空氣軸承平台提供極高的精度和穩定性.
2.具有優良的負荷能力和運動性能.
3.由於摩擦係數極小，維護成本較低, 不會造成磨損或撕裂.
4.確保高線性度和平坦度.
5.由於其產品特性, 氣浮平台有特定的環境要求, 需要在潔淨室中使用.
6.它需要一個乾淨的, 操作用乾燥空氣源.
技術參數
| 技術參數 | ||
| 軸向 | X軸 | Y軸 |
| 中風 | 900 毫米 | 1350 毫米 |
| XX直線度 | 120 公斤 | ≥55KG+Z軸重量 |
| YY直線度 | 0.1 一 | 0.1 一 |
| 定位精度 | 5 弧秒 | 5 弧秒 |
| 重複定位精度 | 10 弧秒 | 10 弧秒 |
| 偏航 | ±2.5 弧秒/50mm | / |
| 瀝青 | ±5角秒/50mm | / |
應用領域
雙軸超精密氣浮運動平台採用有限元素分析與氣浮補償設計技術優化的結構. 這提高了精度，同時也提供了最高的動態性能.
廣泛應用於半導體加工、檢測等產業, 微納製造, 奈米級飛切拋光, 和高速掃描.
產品特點:
1.利用碳化矽陶瓷空氣軸承導軌實現超高精度.
2.速度 1 m/s 和加速度 4 克, 確保快速的穩定時間.
3.Y軸雙驅動雙龍門結構, 提供強大的負載能力.
4.可選光柵或雷射干涉儀位置回饋.
5.可依客戶要求客製化, 包括配置, 旅行, 載入, 和特殊結構.
