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XY轴空气轴承直线运动平台

1.利用碳化硅陶瓷空气轴承导轨实现超高精度.
2.速度 1 m/s 和加速度 4 克, 确保快速的稳定时间.
3.Y轴双驱动双龙门结构, 提供强大的负载能力.
4.可选光栅或激光干涉仪位置反馈.
5.可根据客户要求定制, 包括配置, 旅行, 加载, 和特殊结构.

  • 产品详情

气浮平台是以气体为介质的悬挂系统, 利用气流产生的升力来支撑和悬挂物体, 实现非接触悬浮效果.
原理是将压缩空气或氮气注入平面界面. 气体的流动和气泡的形成产生支撑悬浮物体的升力, 形成一层气体悬浮液. 从而实现高精度加工, 光刻法, 和检查, 除其他应用程序外.

1.空气轴承平台提供极高的精度和稳定性.
2.具有优良的负载能力和运动性能.
3.由于摩擦系数极小,维护成本较低, 不会造成磨损或撕裂.
4.确保高线性度和平坦度.
5.由于其产品特性, 气浮平台有特定的环境要求, 需要在洁净室中使用.
6.它需要一个干净的, 操作用干燥空气源.

技术参数
轴向X轴Y轴
中风900 毫米1350 毫米
XX直线度120 公斤≥55KG+Z轴重量
YY直线度0.1 一0.1 一
定位精度5 弧秒5 弧秒
重复定位精度10 弧秒10 弧秒
偏航±2.5 弧秒/50mm/
沥青±5角秒/50mm/

双轴超精密气浮运动平台采用有限元分析和气浮补偿设计技术优化的结构. 这提高了精度,同时还提供了最高的动态性能.
广泛应用于半导体加工、检测等行业, 微纳制造, 纳米级飞切抛光, 和高速扫描.

1.利用碳化硅陶瓷空气轴承导轨实现超高精度.
2.速度 1 m/s 和加速度 4 克, 确保快速的稳定时间.
3.Y轴双驱动双龙门结构, 提供强大的负载能力.
4.可选光栅或激光干涉仪位置反馈.
5.可根据客户要求定制, 包括配置, 旅行, 加载, 和特殊结构.

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