气浮平台及其原理
气浮平台是以气体为介质的悬挂系统, 利用气流产生的升力来支撑和悬挂物体, 实现非接触悬浮效果.
原理是将压缩空气或氮气注入平面界面. 气体的流动和气泡的形成产生支撑悬浮物体的升力, 形成一层气体悬浮液. 从而实现高精度加工, 光刻法, 和检查, 除其他应用程序外.
气浮平台的特点及优势
1.空气轴承平台提供极高的精度和稳定性.
2.具有优良的负载能力和运动性能.
3.由于摩擦系数极小,维护成本较低, 不会造成磨损或撕裂.
4.确保高线性度和平坦度.
5.由于其产品特性, 气浮平台有特定的环境要求, 需要在洁净室中使用.
6.它需要一个干净的, 操作用干燥空气源.
技术参数
技术参数 | ||
轴向 | X轴 | Y轴 |
中风 | 900 毫米 | 1350 毫米 |
XX直线度 | 120 公斤 | ≥55KG+Z轴重量 |
YY直线度 | 0.1 一 | 0.1 一 |
定位精度 | 5 弧秒 | 5 弧秒 |
重复定位精度 | 10 弧秒 | 10 弧秒 |
偏航 | ±2.5 弧秒/50mm | / |
沥青 | ±5角秒/50mm | / |
应用领域
双轴超精密气浮运动平台采用有限元分析和气浮补偿设计技术优化的结构. 这提高了精度,同时还提供了最高的动态性能.
广泛应用于半导体加工、检测等行业, 微纳制造, 纳米级飞切抛光, 和高速扫描.
产品特点:
1.利用碳化硅陶瓷空气轴承导轨实现超高精度.
2.速度 1 m/s 和加速度 4 克, 确保快速的稳定时间.
3.Y轴双驱动双龙门结构, 提供强大的负载能力.
4.可选光栅或激光干涉仪位置反馈.
5.可根据客户要求定制, 包括配置, 旅行, 加载, 和特殊结构.