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에어 베어링 플랫폼 및 원리
에어 베어링 플랫폼은 가스를 매체로 사용하는 서스펜션 시스템입니다., 가스 흐름에 의해 생성 된 리프트 사용 물체를지지하고 일시 중단, 비접촉식 서스펜션 효과 달성.
원리는 압축 공기 또는 질소를 평면 인터페이스에 주입하는 것과 관련이 있습니다.. 가스의 흐름과 거품 형성은 매달린 물체를지지하는 리프트를 생성합니다., 가스 서스펜션 층 생성. 이를 통해 고정밀 처리가 가능합니다, 포토 리소그래피, 검사, 다른 응용 프로그램 중에서도.
에어 베어링 플랫폼의 특성 및 장점
1.에어 베어링 플랫폼은 매우 높은 정밀도와 안정성을 제공합니다..
2.우수한 부하 용량과 모션 성능이 있습니다.
3.최소 마찰 계수로 인해 유지 보수 비용이 낮습니다., 마모 또는 찢어지지 않습니다.
4.높은 선형성과 평탄도를 보장합니다.
5.제품 특성으로 인해, 에어 베어링 플랫폼에는 특정 환경 요구 사항이 있습니다, 클린 룸에서 사용이 필요합니다.
6.깨끗이 필요합니다, 운영을위한 건식 공기 공급원.
기술적인 매개변수
| 기술적인 매개변수 | ||
| 축 | x 축 | y 축 |
| 뇌졸중 | 900 mm | 1350 mm |
| XX 스트레이트 니스 | 120 kg | ≥ 55kg+z 축 중량 |
| YY 스트레이트 니스 | 0.1 하나 | 0.1 하나 |
| 위치 정확도 | 5 아크 SEC | 5 아크 SEC |
| 위치 정확도를 반복합니다 | 10 아크 SEC | 10 아크 SEC |
| 편주 | ± 2.5 아크 초/50mm | / |
| 정점 | ± 5 아크 초/50mm | / |
응용 프로그램 필드
이중 축 초고 공기 베어링 모션 플랫폼은 유한 요소 분석 및 에어 베어링 보상 설계 기술을 통해 최적화 된 구조를 사용합니다.. 이것은 정밀도를 향상시키면서 최고 동적 성능을 제공합니다..
반도체 처리 및 검사와 같은 산업에서 널리 사용됩니다., 마이크로-나노 제조, 나노 레벨 플라이 컷 연마, 및 고속 스캔.
제품 기능:
1.매우 높은 정밀도를 위해 실리콘 카바이드 세라믹 에어 베어링 가이드를 사용합니다..
2.속도 1 M/S 및 가속도 4 g, 빠른 정착 시간 보장.
3.y 축의 이중 드라이브 이중 대기 구조, 강한 부하 용량을 제공합니다.
4.선택적 격자 또는 레이저 간섭계 위치 피드백.
5.고객 요구 사항을 기반으로 사용자 정의 할 수 있습니다, 구성 포함, 여행하다, 짐, 그리고 특별한 구조.
