疊加式氣浮平台

疊加空氣階段及其原理

疊加空氣階段是一種使用氣體作為介質的懸架系統, 利用氣流產生的升力來支撐和懸掛物體, 實現非接觸懸浮效果.
原理是將壓縮空氣或氮氣注入平面界面. 氣體的流量和空氣膜的形成產生升降機，以支撐懸浮物的物體, 形成一層氣體懸浮液. 這使對象懸掛, 促進精確的對齊和定位.

疊加空氣階段的特性和優勢

1.利用空氣彈性勢能作為支持指南, 在導軌和滑動台之間實現零摩擦.
2.提供出色的動態性能和定位精度.
3.為空氣軸承平台提供正壓和負壓設計.
4.在空氣軸承指南上具有不平化重力分佈的大量載荷的應用中, 它確保更好地維護指南中的正常氣隙.

技術參數

技術參數
中風		300mm*300mm
定位精度		±0.3μm
雙向重複性		±0.2μm
瀝青		±3角秒
偏航		±3角秒
卷		±3角秒
直線度		±1μm
平整度		±1μm
解決		1NM
最大加速度		2 克
最大速度		1000 mm/s
最大水平負荷		60 公斤
最大徑向負載		30 公斤
持續推力	上軸	78 氮
	下軸	156 氮
峰值推力	上軸	432 氮
	下軸	864 氮
位置穩定性		±10 nm
操作氣壓		5.5 酒吧(受到推崇的: 幹空氣, 水和油過濾, 灰塵過濾至0.5μm以下)
板形質量		75公斤
板形材料		鋁
mtbf		25000小時
筆記: 以上測試數據是在實驗室環境中獲得的, 帶有測試點 25 中心點上方的毫米, 由線性放大器確定.