叠加式气浮平台

叠加式气浮平台及其原理

叠加式气浮舞台是以气体为介质的悬浮系统, 利用气流产生的升力来支撑和悬挂物体, 实现非接触悬浮效果.
原理是将压缩空气或氮气注入平面界面. 气体的流动和气膜的形成产生支撑悬浮物体的升力, 形成一层气体悬浮液. 这使得物体能够悬浮, 促进精确对准和定位.

叠加式气浮平台的特点及优点

1.利用空气弹性势能作为支撑引导, 实现导轨与滑台零摩擦.
2.提供出色的动态性能和定位精度.
3.气浮平台采用正负压设计.
4.在空气轴承导轨上重力分布不均匀的大体积负载应用中, 它确保更好地维护导轨中的正常气隙.

技术参数

技术参数
中风		300毫米*300毫米
定位精度		±0.3微米
双向重复性		±0.2微米
沥青		±3角秒
偏航		±3角秒
卷		±3角秒
直线度		±1微米
平整度		±1微米
解决		1纳米
最大加速度		2 克
最大速度		1000 毫米/秒
最大水平负载		60 公斤
最大径向载荷		30 公斤
持续推力	上轴	78 氮
	下轴	156 氮
峰值推力	上轴	432 氮
	下轴	864 氮
就位稳定性		±10纳米
工作气压		5.5 酒吧(受到推崇的: 干燥空气, 水和油过滤, 粉尘过滤至0.5μm以下)
平台质量		75公斤
平台材质		铝
平均无故障时间		25000时间
笔记: 以上测试数据是在实验室环境下获得的, 测试点位于 25 中心点上方毫米, 由线性放大器确定.