固定監視段階とその原則
固定監視段階は、高い動的プロファイリング機能と超高精度の位置決めの精度を備えています. コア線形モーターと高度な制御技術を装備, 非常に短い時間内に複雑な形状と輪郭を正確に複製できます. 滑らかな曲線や鋭いエッジを扱うかどうか, このステージは、驚くべき精度で処理されます, 製造効率と製品の品質が大幅に向上します.
固定監視段階の特徴と利点
1.高精度と安定性: 変形に耐性, 優れた安定性と精度を提供します.
2.均一な構造: 熱膨張係数が非常に低く、内部応力を完全に排除しました, 長期にわたる精度を確保します.
3.優れた物理的特性: 高い剛性, 硬度, 耐摩耗性.
4.耐食性: 酸とアルカリの液体から不浸透性, 錆びません, 給油は必要ありません, ほこりの蓄積に耐性があります. 簡単なメンテナンスと長いサービスライフ.
5.温度独立性: 一定の温度制御を必要とせずに室温でも測定精度を維持します.
6.非磁性: 滑らかになります, 測定中の摩擦のない動きであり、湿度の影響を受けません, 優れた表面の安定性を確保します.
技術的パラメータ
技術的パラメータ | |||
プレートモデル | bzddm-dlxy-400-400-100 | bzddm-dlxy-600-600-100 | BZDDM-DLXY-800-800-100 |
有効ストローク | 400*400*100 | 600*600*100 | 800*800*100 |
位置決め精度 | ±2μm | ±2μm | ±2μm |
双方向の反復 位置決め精度 | ±1μm | ±1μm | ±1μm |
ピッチ | 15 Arc Sec | 20 Arc Sec | 25 Arc Sec |
ヨー | 15 Arc Sec | 20 Arc Sec | 25 Arc Sec |
ロール | 15 Arc Sec | 20 Arc Sec | 25 Arc Sec |
まっすぐ | ±3 1 | ±5 1 | ±8 1 |
解決 | 100 nm | 100 nm | 100 nm |
最大加速 | 1g | 1g | 1g |
最高速度 | 1 MS | 1 MS | 1 MS |
Y軸負荷 | 60 KG | 60 KG | 60 KG |
Z軸負荷 | 12 KG | 12 KG | 12 KG |
連続スラストy軸 | 221 n | 221 N | 221 n |
連続スラストZ軸 | 393 n | 393 N | 393 n |
ピークスラストy軸 | 1248 n | 1248 N | 1248 n |
ピークスラストZ軸 | 2830 n | 2830 N | 2830 n |
最小ステップサイズ | 500 nm | 500 nm | 500 nm |
プレートフォーム質量 | 1400 kg | 1500 kg | 1700 kg |
プレートフォーム材料 | 花崗岩 | 花崗岩 | 花崗岩 |
mtbf | 20000 時間 | 20000 時間 | 20000 時間 |
注記: 上記のテストデータは、実験室環境で取得されました, テストポイントが配置されています 25 中心点の上のmm, 線形アンプによって決定されます. |
応用
固定監視段階は、高精度と効率性に対する最新の精密製造需要を満たしています. 半導体製造などの分野で広く使用されています, 精密機械処理, および光学計器の製造.
製品の特徴:
1.コアレス線形モーターコントロール: スムーズで効率的な動作を保証します.
2.高負荷容量, 高精度, 長い旅行, そして高い剛性: 要求の厳しいアプリケーション用に設計されています.
3.ダスト保護を備えた精密プラットフォーム: 挑戦的な環境でパフォーマンスを維持します.
4.集中潤滑と金属接地: 信頼性と安全性の向上.
5.クイック接続と切断: ユーザーはすばやくインストールしてデバッグできます.
6.カスタマイズ可能な旅行範囲: 特定の要件に合わせて調整できます.