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固定桁ステージ

製品の特徴:
1.コアレス線形モーターコントロール: スムーズで効率的な動作を保証します.
2.高負荷容量, 高精度, 長い旅行, そして高い剛性: 要求の厳しいアプリケーション用に設計されています.
3.ダスト保護を備えた精密プラットフォーム: 挑戦的な環境でパフォーマンスを維持します.
4.集中潤滑と金属接地: 信頼性と安全性の向上.
5.クイック接続と切断: ユーザーはすばやくインストールしてデバッグできます.
6.カスタマイズ可能な旅行範囲: 特定の要件に合わせて調整できます.

  • 製品詳細

固定監視段階は、高い動的プロファイリング機能と超高精度の位置決めの精度を備えています. コア線形モーターと高度な制御技術を装備, 非常に短い時間内に複雑な形状と輪郭を正確に複製できます. 滑らかな曲線や鋭いエッジを扱うかどうか, このステージは、驚くべき精度で処理されます, 製造効率と製品の品質が大幅に向上します.

1.高精度と安定性: 変形に耐性, 優れた安定性と精度を提供します.
2.均一な構造: 熱膨張係数が非常に低く、内部応力を完全に排除しました, 長期にわたる精度を確保します.
3.優れた物理的特性: 高い剛性, 硬度, 耐摩耗性.
4.耐食性: 酸とアルカリの液体から不浸透性, 錆びません, 給油は必要ありません, ほこりの蓄積に耐性があります. 簡単なメンテナンスと長いサービスライフ.
5.温度独立性: 一定の温度制御を必要とせずに室温でも測定精度を維持します.
6.非磁性: 滑らかになります, 測定中の摩擦のない動きであり、湿度の影響を受けません, 優れた表面の安定性を確保します.

技術的パラメータ
プレートモデルbzddm-dlxy-400-400-100bzddm-dlxy-600-600-100BZDDM-DLXY-800-800-100
有効ストローク400*400*100600*600*100800*800*100
位置決め精度±2μm±2μm±2μm
双方向の反復
位置決め精度
±1μm±1μm±1μm
ピッチ15 Arc Sec20 Arc Sec25 Arc Sec
ヨー15 Arc Sec20 Arc Sec25 Arc Sec
ロール15 Arc Sec20 Arc Sec25 Arc Sec
まっすぐ±3 1±5 1±8 1
解決100 nm100 nm100 nm
最大加速1g 1g1g 
最高速度1 MS 1 MS1 MS 
Y軸負荷60 KG 60 KG60 KG 
Z軸負荷12 KG 12 KG12 KG 
連続スラストy軸221 n 221 N221 n 
連続スラストZ軸393 n 393 N393 n 
ピークスラストy軸1248 n 1248 N1248 n 
ピークスラストZ軸2830 n 2830 N2830 n 
最小ステップサイズ500 nm 500 nm500 nm 
プレートフォーム質量1400 kg1500 kg1700 kg
プレートフォーム材料花崗岩 花崗岩花崗岩 
mtbf20000 時間 20000 時間20000 時間 
注記: 上記のテストデータは、実験室環境で取得されました, テストポイントが配置されています 25 中心点の上のmm, 線形アンプによって決定されます.

固定監視段階は、高精度と効率性に対する最新の精密製造需要を満たしています. 半導体製造などの分野で広く使用されています, 精密機械処理, および光学計器の製造.

1.コアレス線形モーターコントロール: スムーズで効率的な動作を保証します.
2.高負荷容量, 高精度, 長い旅行, そして高い剛性: 要求の厳しいアプリケーション用に設計されています.
3.ダスト保護を備えた精密プラットフォーム: 挑戦的な環境でパフォーマンスを維持します.
4.集中潤滑と金属接地: 信頼性と安全性の向上.
5.クイック接続と切断: ユーザーはすばやくインストールしてデバッグできます.
6.カスタマイズ可能な旅行範囲: 特定の要件に合わせて調整できます.

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