XY轴气浮直线运动平台

气浮平台及其原理

气浮平台是一种以气体为介质的悬浮系统，利用气体流动产生的气浮力来支撑和悬浮物体，实现无接触的悬浮效果。

其原理是在平面介面上注入压缩空气或氮气，通过气体流动和气泡形成产生气浮力支撑悬浮物体，形成一层气体悬浮层，实现物体的悬浮，从而达到高精度加工、光刻和检测等目的。

气浮平台的特点和优势

• 气浮平台具有极高的精度和稳定性
• 气浮平台具有出色的承载能力和运动性能
• 气浮平台的维护成本低，因为其摩擦系数很小，不会产生磨损和磨损
• 高直线度和平面度
• 由于其产品特性，气浮平台对使用环境有一定要求，需在洁净室内使用
• 需要使用清洁、干燥的气源供气

产品技术参数

运动轴	X轴	Y轴
行程	1350mm	1350mm
YY直线度	1.1μm	5.6μm
XX直线度	0.5μm	3.4μm
YAW	0.9arcsec	0.8arcsec
PITCH	1.1arcsec	2.8arcsec
定位精度	0.3μm	0.9μm
重复定位精度	0.2μm	0.5μm

应用领域

双轴超精密气浮运动台，采用有限元分析优化的结构和气浮轴承补偿设计技术，提高精度的同时，也提供了最高动态性能。

广泛应用于半导体加工、检测，微纳加工、纳米级飞切抛光加工及高速扫描等行业。